●반도체 결함 찾는 ‘광유도력 현미경’ 개발

한국표준과학연구원 나노구조측정센터 이은성 박사팀은 나노미터급 반도체나 전자소자의 내부 깊은 곳까지 관찰해 영상화할 수 있는 고감도 현미경 기술인 ‘광유도력 현미경’을 개발했다고 5일 밝혔다. 물질을 나노미터 수준으로 관찰하는 ‘원자힘 현미경’(AFM)이 있지만 이 현미경은 물질 표면만 관찰한다는 단점이 있다. 이번에 개발한 광유도력 현미경은 소자를 절단하지 않고 반도체 내부에 발생할 수 있는 공극 같은 결함 문제를 정밀하게 영상화할 수 있다.

●과천과학관, 로봇공학자 데니스 홍 강연

국립과천과학관(관장 배재웅)은 오는 8일 오후 5시 과학관 천체투영관에서 미국 캘리포니아 로스앤젤레스대(UCLA) 교수이자 세계적인 로봇공학자 데니스 홍 박사의 강연을 연다. 이번 강연은 오는 23일까지 매주 토, 일요일에 개최하는 ‘천체투영관 대축제’의 하나다. 디즈니와의 협업으로 기획됐다. 영화 ‘스타워즈’를 보며 로봇 과학자를 꿈꿨다는 홍 교수는 스타워즈 속 로봇이나 장치들이 실제 로봇공학에서 어떻게 구현되는지, 상상력을 현실로 만들기 위해 어떤 노력을 해야 하는지 이야기할 예정이다.

유용하 기자 edmondy@seoul.co.kr